选择合适的行星减速机材料有利于提高减速器的承载能力和使用寿命。
　　针对精密减速器的结构特点和齿轮的受力特点，应广泛采用硬齿面齿轮。获得硬齿齿轮热处理的方法有很多。如表面淬火、整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据齿轮减速器的特点进行选择。
　　1.外表淬火
　　常见的外观淬火方法有高频淬火(小齿轮)和火焰淬火(大齿轮)。外部硬化的硬化层包括牙根的底部时是最有效的。齿面硬度可达45-55HRC。
　　2.渗氮
　　氮化处理可以保证齿轮在最小变形条件下获得较高的齿面硬度和耐磨性。最好的整理是热处理后不再进行，这提高了负荷能力。
　　3.渗碳淬火
　　渗碳和淬火齿轮的承载能力相对较大，但必须通过精加工(磨削)来消除热处理变形，以确保精度。
　　渗碳和淬火齿轮在渗碳前一般采用含碳量为0.2%-0.3%的合金钢。齿面硬度一般在58-62HRC之间。若低于57HRC，则硬表面硬度明显降低。添加到。渗碳淬火齿轮的硬度从齿面逐渐降低到深层，有效渗碳深度为从齿面到硬度5.25HRC的深度。

　　渗碳淬火在齿轮弯曲疲劳强度方面的效果除使心部硬度有所提高外，还在于外表的残余压应力。它可使最大压应力区的应力减小，因而磨齿时不能磨齿根部分